Ecosys 尾气处理系统

Ecosys 尾气处理系统

Ecosys 减排产品系列涵盖现代半导体几乎所有需求
所有气体种类；包括 PFC 和温室气体，减排效率超过 99%
可依照不同的排放气体，选择适配的机台与模组，以利您的使用

 M91 (燃燒-水洗) 

• 使用甲烷、氢气等燃料

• 强而稳定的引燃火焰

• 可选择 手动/自动油气比例模式

M91A (等離子-水洗)

• 尾气离子化处理模式

• 无须燃料

• CDA (清洁干燥的空气) / 氮气或氩气作为等离子气体

• 适用于PFCs

M91P (等離子-水洗)

• 离子化火炬高温处理模式

• 无须燃料

• CDA (清洁干燥的空气) / 氮气或氩气作为等离子气体

• 适用于易燃气体

綜合式尾氣處理系統 (Marathon)

 通过一整套不同的减排技术为您提供最佳的「气体处理解决方案」，将制程中「不可回收」的部分则经过减排设施，最大限度地降低对环境造成危害。