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符合Class10,000等級的無塵室

半導體製程是種高度精密化的工業,任何細微的環境或操作變動,都有可能影響其製造成品之品質,因此製程均要求在嚴格控制下的無塵室中操作。無塵室是個採層層過濾以去除空氣中微粒存在,並控制室內溫度與溼度於恆定狀態的密閉空間。半導體製作過程所產生的污染源也均發生於無塵室之中,為避免其污染化學物質危害身處於其中的作業人員安全,無塵室中的空氣污染物收集於半導體製造業更為重要。

巨茂斥資上千萬元新台幣,建造佔地約595.044m2現代化全新廠房,其中包含佔樓板面積264.464m2,符合Class10,000等級的無塵室,作為半導體設備製作場地,並重新購置日本Cosmos氧氣偵測儀、Leak Detector氦氣測漏儀、銲溶接機、水份含氧量測試儀等各式加工製造設備。本公司無塵室採亂流式(Turbulent Flow)系統,空氣由無塵室上方天花板之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,並由無塵室兩側隔間牆板回風,來控制塵粒數在控制範圍內。 再加上從日本取得株式会社ティージーテクノ機操作認證資格的專業技術人員,從軟硬體各方面配合,達到更有效率之經營管理,促使設備品質日益精進。

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